全自动化高温无尘无氧化烤箱
商品编号：AQHWOL
商品简述：
- 全自动化烤箱可与EFEM或机械手臂搭配
- 可把相关数值直接上传至服务器，达到无人工厂自动化之目的
特点说明
自动控制与物联网整合- 布建传感器 ：温度传感器、含氧量侦测器、N2气体含量传感器、无人搬运车(AGV)电池容量检知、物料在席检知器(Loader/Unloader/烤箱)，自动开关位置检知。
- 布建驱动器：烤箱自动开关马达与控制器、无人搬运车(AGV)(驱动马达与堆高摆放 )、风流控制马达在Loader与烤箱设备各配置一个连网型PLC控制器；Loader与机械手臂之间的联系透过WiFi联网。
产品应用
半导体工业烤箱、电路板工业烤箱、PCB烘烤设备、面板烘烤设备、ABF载板工业烤箱、LED干制程、电子产业干制程、氮气热风烤箱...等需干燥、烘烤制程自动化生产之产业。
烤箱规格 OVEN SPECIFICATION (PLC／PC base)
| 详细规格说明 | |
| 制程温度 | RT ~450℃ |
| 温度均匀度 | ± 1.5% |
| 无尘度 | ISO14644-1 Class 5 @ 0.3 µm |
| 冷却方式 | 气冷(N2/CDA)、水冷 |
| 搭配设备 | EFEM 、机械手臂 |
| 含氧量 | 20ppm |
| 操作接口 | 人性化操作接口，并可符合 CIM, Ethernet & SECS/GEM, PCB ECI |
| 选配 | ．气冷快速降温方式 ．Solvent 回收系统 ．快拆式内衬装置 |
| 制程 | 芯片和基板形式固化，用于PR/PI 固化和烘烤；是晶圆等级及扇出型 面板级封装最佳固化解决方案。 |
