伟胜干燥工业作为干燥设备领域的领导品牌，专注于自动化干燥设备的研发、设计、制造与整合，以满足各个产业制程的严苛需求。在即将举行的2024 SEMICON Taiwan展览上，我们将展示先进光与热技术，结合人工智能的最新设备，进一步推动智慧工厂的技术革新，共同迈向工业5.0。
我们不断追求技术创新，并专注于技术支持与系统整合的提升，更突破性的研发出符合半导体产业严苛标准的全自动化高温无尘无氧烤箱，此设备可搭载EFEM，配有标准晶圆加载埠，可与FOUP以及机械手臂协作，达到高效率的晶圆装/卸除，实践无人工厂。
此次展示产品全自动化高温无尘无氧烤箱特点：
1. 专利无段控制风门：搭载专利的无段控制风门，透过程控阀片开幅，提供高度气密的无氧环境，能适应各客制化的制程需求。
2. 均温调节装置：内部配设精密的均温调节装置，通过调节出风口角度，改善热对流效应产生的温差，确保炉内各区的温度均匀，满足制程所需温度要求，其设备制程加温最高可达450度。
3. 高温型高效率滤网： 采用特殊密封工法的日制高温滤网，有效维持炉内洁净度，确保产品良率。
4. 炉压调节装置： 精确控制烤箱内部压力，提供更稳定的制程条件。
5. 腔体冷却夹套：在腔壁外缘设计的冷却夹层及散热鳍片，利用强制冷空气对流机制，加快降温速率，同时维持炉内无氧环境的稳定性。
6. 电子电机组件配线： 采用一线到底的设计，符合电工法规和客户配线规范，有效避免接线不良和工安意外。
7. 炉后方检修门： 烤箱配置后方检修门，便于维护和保养，可单独脱机进行检修，而不影响其他设备的生产运作。
8. 金属晶圆治具： 适用于8及12吋晶圆，采用耐高温不产尘的金属材料，特殊定位结构防止位置或尺寸偏差，确保组装精度。
9. 自动化炉门： 配备自动炉门，通过马达驱动两侧机构，提供升降所需动力，并增设安全装置以确保升降的高度同步和安全性。
10. 自动控制与物联网整合：通过传感器和驱动器实现流程的数字化和智能化管理，将作业流程数字及数值化。不仅可在联网型PLC实时监控各项信息，并通过WIFI上传至W-AIMS伟胜人工智能管理系统，实现高效率、数字化的无人工厂。
此设备广泛应用于半导体、PCB、ABF载板及LED等产业，为客户提供一站式解决方案，协助实现高度自动化与智慧化生产，确保生产效能和产品良率精确度。
SEMICON Taiwan 2024 展览信息：
地点：南港展览馆2馆_1楼
位置：摊位编号_Q6058 点我了解详细展位地图
时间：9/4(三) - 9/5(四) 10:00~17:00
9/6(五) 10:00~16:00
*最后一天开放至16:00
