偉勝乾燥工業作為乾燥設備領域的領導品牌，專注於自動化乾燥設備的研發、設計、製造與整合，以滿足各個產業製程的嚴苛需求。在即將舉行的2024 SEMICON Taiwan展覽上，我們將展示先進光與熱技術，結合人工智慧的最新設備，進一步推動智慧工廠的技術革新，共同邁向工業5.0。
我們不斷追求技術創新，並專注於技術支援與系統整合的提升，更突破性的研發出符合半導體產業嚴苛標準的全自動化高溫無塵無氧烤箱，此設備可搭載EFEM，配有標準晶圓載入埠，可與FOUP以及機械手臂協作，達到高效率的晶圓裝/卸載，實踐無人工廠。
此次展示產品全自動化高溫無塵無氧烤箱特點：
1. 專利無段控制風門：搭載專利的無段控制風門，透過程式控制閥片開幅，提供高度氣密的無氧環境，能適應各客製化的製程需求。
2. 均溫調節裝置：內部配設精密的均溫調節裝置，通過調節出風口角度，改善熱對流效應產生的溫差，確保爐內各區的溫度均勻，滿足製程所需溫度要求，其設備製程加溫最高可達450度。
3. 高溫型高效率濾網： 採用特殊密封工法的日製高溫濾網，有效維持爐內潔淨度，確保產品良率。
4. 爐壓調節裝置： 精確控制烤箱內部壓力，提供更穩定的製程條件。
5. 腔體冷卻夾套：在腔壁外緣設計的冷卻夾層及散熱鰭片，利用強制冷空氣對流機制，加快降溫速率，同時維持爐內無氧環境的穩定性。
6. 電子電機元件配線： 採用一線到底的設計，符合電工法規和客戶配線規範，有效避免接線不良和工安意外。
7. 爐後方檢修門： 烤箱配置後方檢修門，便於維護和保養，可單獨離線進行檢修，而不影響其他設備的生產運作。
8. 金屬晶圓治具： 適用於8及12吋晶圓，採用耐高溫不產塵的金屬材料，特殊定位結構防止位置或尺寸偏差，確保組裝精度。
9. 自動化爐門： 配備自動爐門，通過馬達驅動兩側機構，提供升降所需動力，並增設安全裝置以確保升降的高度同步和安全性。
10. 自動控制與物聯網整合：通過感測器和驅動器實現流程的數位化和智能化管理，將作業流程數位及數值化。不僅可在聯網型PLC實時監控各項資訊，並通過WIFI上傳至W-AIMS偉勝人工智能管理系統，實現高效率、數位化的無人工廠。
此設備廣泛應用於半導體、PCB、ABF載板及LED等產業，為客戶提供一站式解決方案，協助實現高度自動化與智慧化生產，確保生產效能和產品良率精確度。
SEMICON Taiwan 2024 展覽資訊：
地點：南港展覽館2館_1樓
位置：攤位編號_Q6058 點我了解詳細展位地圖
時間：9/4(三) - 9/5(四) 10:00~17:00
9/6(五) 10:00~16:00
*最後一天開放至16:00
