智能无尘无氧工业烤箱,应用于半导体制程

「自动化烘烤专家」 伟胜干燥工业参加 2023国际半导体展,(9月6日至8日,南港展览馆2馆1楼)亮点展品为智能无尘无氧工业烤箱,它具有智能监控、节能减碳的优点,也能搭配全自动搬运机器人及自动烘烤设定,对于投入高阶或自动化制程的科技业是绝佳帮手。

这款智能无尘无氧工业烤箱,可应用于半导体制程的光阻软烘烤、显影硬烘烤、清洗后烘干或环化干燥;搭配EFEM或机械手臂,除原有SECS/GEM通讯协议外,藉由搭载IPC、触控屏幕及独立应用程序,将机台相关数据上传云端,搭配智慧监控镜头,提供客端连接智能工厂,整合物联网与无人工厂的需求,达成无人工厂自动化目的;同时炉门采自动门设计、两箱可独立控制,一箱可烘烤50片晶圆,并从用户角度思考,设计键盘抽屉、文件收纳隔层,操作起来更加便利。 

针对节能减碳风潮催生的绿色制程,伟胜这款智能烤箱以专利多层风门结构,提高气密封性超过99%,同时强化机台保温设计,提升20%至25%的节能效果,并搭配备新的水冷系统,每分钟冷却效能平均可达摄氏4.5度,此外,全机使用达60%可回收材料,并结合废热回收模块及溶剂(Solvent)回收,可回收25%有机物溶剂,不仅有效减少有机物附着腔体,大大减少后续维护时间,确保产品良率,更进一步达到节电,降低环境污染的效益。 

伟胜干燥工业,专精自动化干燥设备的研发、设计、制造和整合,近年配合国、内外知名科技大厂自动化干燥制程,提供客制化服务,以因应产业各阶段不同烘烤、固化制程需求,并配合客户制程空间应用需求,进行专业的规划设计,来满足客户需求。 

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